Mogućnosti primjene polisilicijskih slojeva u disipativnim elementima

Opisan je utjecaj degeneracije na svojstva polisilicijskih slojeva dobivenih CVD i LPCVD postupcima. Posebno je razmotren temperaturni koeficijent otpora u širokom temperaturnom području. Analiziran je utjecaj debljine sloja polisilicija na njegova električka svojstva kao što su otpor sloja, temperaturni koeficijent otpora i strujna opterećenja. Uz pretpostavljen rast sloja polisilicija na podlozi od AlN analizirano je odvođenje topline u podlogu od metala. Procijenjene su maksimalne moguće disipacije topline polisilicijskih slojeva na AlN spojenih na ploče od aluminija, bakra i ostalih metala