Suvremeni postupci fizikalnog prevlačenja iz parne faze

završni rad (sveučilišni)

završni rad (sveučilišni)

Suvremeni postupci fizikalnog prevlačenja iz parne faze

Vrsta ocjenski radovi
Tip završni rad (sveučilišni)
Godina 2011
Status obranjeno

Sažetak

U radu su opisani osnovni fizikalni procesi u postupcima fizikalnog taloženja u parnoj fazi (tzv. PVD postupci): isparivanje materijala prevlake, prijenos materijala prevlake s isparivača na šaržu, kondenzacija metalnih para, te nukleacija i rast prevlake. Također su opisani klasični i suvremeni postupci PVD prevlačenja: postupci prevlačenja s isparavanjem materijala prevlake, postupci s raspršivanjem materijala prevlake i potupci s s ionizacijom materijala prevlake. Također su opisane metode karakterizacije prevlaka na makro i mikro nivou zajedno sa mjernim uređajima: ispitivanje otpornosti na trošenje, otpornosti na koroziju, ispitivanje mikrostrukture prevlake mikroskopijom i rendgenskom difrakcijom, te ispitivanja fizikalnih svojstava PVD prevlaka. Za opisane PVD postupke navedene su uobičajene prevlake koje se s njima mogu proizvesti. Opisane su vrste i primjena prevlaka i uspoređena su njihova karakteristična svojstva: debljina, mikrotvrdoća, radna temperatura, faktor trenja i izgled prevlake.

Ključne riječi

fizikalno prevlačenje iz parne faze; čelik